深圳所建 ASML EUV 光刻机原型机无法运行 或为二手零件组装的“弗兰肯斯坦”式设备
此前关于中国实验室成功逆向研发 ASML 极紫外 (EUV) 光刻机的传闻被曝出可能并不属实。该原型机系由多种渠道获取的零散部件组装而成的“弗兰肯斯坦”式设备，目前无法运行，且未制造出任何芯片。
EUV 技术高度依赖 Cymer 的光源系统、蔡司 (Carl Zeiss) 的精密光学镜片及复杂的集成软件。受出口管制影响，中国企业目前主要通过改装深紫外 (DUV) 光刻机提升产能，仍难以突破 EUV 技术壁垒。